中国科学院苏州生物医学工程技术研究所公共技术服务中心

简介

医用微纳技术支撑平台建有百级、千级和万级洁净实验室，以及配套的光学平台和生物实验室，总面积400平方米，拥有国际先进的MEMS前道和后道加工设备，主要开展纳米加工和表面微制作技术和工艺的研究，具备微光机电设计、加工的技术能力。同时该平台面还提供微传感器、微执行器以及相关MEMS器件的加工服务。

服务项目

电子束光刻机：电子束光刻技术是目前公认的最好的高分辨率图形制作技术，它可以制备特征尺寸10nm甚至更小图形的微细加工。主要用于精密二维掩膜制造，在实验室条件下己能将电子束聚焦成尺寸小于2nm的束斑，可实现纳米级曝光。

划片机：进行硅片、陶瓷、玻璃等材料的微米尺寸切割。

Parylene真空镀膜设备：作为一种高质量、紧凑型的涂覆设备，PDS2010特别适用于一系列的应用，包括电路板、传感器、晶圆、医疗器件及弹性元件研究、开发和修理。

喷胶机：完成晶圆等基片的喷胶、自动旋涂等。

高速冷冻离心机：用于快速方便的离心各种样品。

纳米粒度电位分析仪：检测和分析纳米材料，包括颗粒、乳液和悬浮液等样品的粒度分布、Zeta电位值和分子量。